CO2センサーとMEMS

タイトルのMEMSってのは Microelectromechanical systems （要は機械・電子・光・化学などの多様な機能を集積化した微細デバイスのこと） の略なんですが、去年投稿した「CO2センサーとリブリーザは？」って記事に関連して、つい最近面白そうなニュースを目にしました。「TDK、CO2検出用のMEMSガスセンサーを発売」発表内容はTDKのwebサイトでpdfにもなっていました。TDK社が、小型で消費電力が小さく高い精度でCO2濃度を直接検...