けむさん　化学情報センター

分子レジスト（分子ガラスレジスト）とは？ LERを改善させる新しいフォトレジスト

半導体の微細化に伴い、フォトレジスト材料への要求水準が高くなっています。一般的なフォトレジストはマトリックスとして高分子化合物を使用していますが、フォトレジストの性能を改善するために低分子化合物をマトリックスとする分子レジスト（分子ガラスレ

2024/07/13 11:17

ネガ型フォトレジストの種類と開発の歴史をわかりやすく説明

フォトレジストにはポジ型フォトレジストとネガ型フォトレジストの2種類があります。両タイプのレジストは用途・使用箇所により使い分けられます。 この記事では、ネガ型フォトレジストとは何か、ネガ型フォトレジストリソグラフィーの仕組み、ネガ型フォト

2024/07/02 23:07