低温プラズマ応用産業の可能性

低温プラズマ応用産業の可能性

近年のプラズマ技術の進化はめざましいものがあります。大気圧下における常温、そして低温や零下、液中など、様々な条件下で放電することが可能となってきました。従来の高温プラズマに対して、今、低温プラズマが注目されています。  低温プラズマ処理装置システムに関す